BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC QUY NHƠN NGUYỄN THỊ KIỀU DIỄM PHÁT TRIỂN VẬT LIỆU ÔXÍT THIẾC ỨNG DỤNG CHO ĐIỆN CỰC TRONG SUỐT SỬ DỤNG CÔNG NGHỆ LẮNG ĐỌNG ĐƠN LỚP NGUYÊN TỬ Ở ÁP SUẤT KHÍ QUYỂN Chuyên ngành: Vật lý chất rắn Mã số: 8440104 Người hướng dẫn: TS. NGUYỄN VIẾT HƯƠNG TS. LÊ THỊ NGỌC LOAN LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan đề tài: “Phát triển vật liệu ôxít thiếc ứng dụng cho điện cực trong suốt sử dụng công nghệ lắng đọng đơn lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển” là công trình nghiên cứu của riêng tôi dưới sự hướng dẫn của TS. Nguyễn Viết Hương – Trường Đại học Phenikaa và TS. Lê Thị Ngọc Loan – Trường Đại học Quy Nhơn. Các số liệu và kết quả nghiên cứu nêu trong luận văn là trung thực và chưa từng được công bố trong bất kì một công trình nào khác. Bình Định, ngày … tháng … năm 2022 Tác giả luận văn Nguyễn Thị Kiều Diễm LỜI CẢM ƠN Trong quá trình học tập, nghiên cứu và hoàn thiện đề tài: “Phát triển vật liệu ôxít thiếc ứng dụng cho điện cực trong suốt sử dụng công nghệ lắng đọng đơn lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển”, tôi đã nhận được sự hướng dẫn và sự giúp đỡ nhiệt tình từ phía nhà trường và thầy cô giáo. Lời đầu tiên cho phép tôi xin bày tỏ lòng biết ơn chân thành và sâu sắc nhất tới TS. Nguyễn Viết Hương – Trường Đại học Phenikaa và TS. Lê Thị Ngọc Loan – Trường Đại học Quy Nhơn - thầy, cô giáo đầy tâm huyết với công việc – người đã trực tiếp hướng dẫn, hết lòng giúp đỡ và tạo mọi điều kiện tốt nhất từ vật chất đến tinh thần. Đó là cơ sở giúp tôi thực hiện luận văn này. Tôi xin chân thành cảm ơn Ban Giám hiệu Trường Đại học Quy Nhơn và Trường Đại học Phenikaa đã tạo điều kiện về cơ sở vật chất, xây dựng kiến thức. Quý thầy cô giáo Khoa Khoa học tự nhiên Trường Đại học Quy Nhơn và Trường Đại học Phenikaa, các Giáo sư, Phó Giáo sư, Tiến sĩ trong và ngoài nước tham gia giảng dạy và hướng dẫn tôi đến với con đường nghiên cứu khoa học. Một số kết quả phép đo ảnh SEM trong đề tài của tôi được đo tại Trường Đại học Bách khoa Hà Nội. Tôi xin trân trọng cảm ơn sự giúp đỡ, hỗ trợ này đối với đề tài của tôi. Tôi xin gửi lời cảm ơn đến tập thể lớp cao học Vật lý chất rắn niên khóa 2020-2022 đã giúp đỡ và là nguồn động viên để tôi hoàn thành tốt khóa học. Hơn nữa, tôi xin gửi lời cảm ơn đến gia đình, bạn bè và đồng nghiệp luôn là hậu phương vững chắc, luôn quan tâm, khích lệ tinh thần và tạo mọi điều kiện thuận lợi để tôi hoàn thành luận văn này! Về bản thân, tôi đã rất cố gắng rất nhiều trong thời gian thực hiện luận văn nhưng vì còn hạn chế về kiến thức cũng như thời gian, kinh nghiệm nghiên cứu